廊坊市航新仪器仪表有限公司

英挠性加速度计(简称加速度计)属于力反馈式加速度计石英加速度计，是一种敏感加速度的传感器石英加速度计，具有体积小、寿命长、性能稳定、测量精度高等特点，可以广泛应用于飞机、火箭、船舶、车辆的惯性导航系统和石油钻井、建筑、堤坝的倾角测量以及地动监测等。石英挠性加速度计是广泛应用于各类现代惯性系统中的一种测量加速度的仪器，现有加速度计的精度不高，或产品的合格率比较低，主要是大家对于加速度计的认识上不到位，多数只是进行纯粹的模仿，并且现在的石英挠性加速度计的偏值(K0)六个月内的准确度通常在5ug以内的合格率在5％以下，延长了生产周期。虽知道影响加速度计精度的关键因素在于摆片，但对于设计一款符合要求的摆片还有一定的困难石英加速度计厂家，在国内虽有一些科研院所，进行了相关的研究，但是效果并不理想，并且多数是停留在理论设想阶段，与实际生产脱节严重。

方解石挠性加速度计系统软件中的闭环控制检验电源电路。开发设计了应用场景单载波解调的电容器检验电源电路和伺服电机光耦电路,在功率放大电路前导入效正阶段,提升加速度计系统软件的动静态数据特性。试验得出结论,电容器检验电源电路线性好挠性加速度计,理解能力可超过10-16F重量级,可检验到的限制误差电容器约为7 pF。方解石挠性加速度计按其运用分成：船舶，航天航空用，车截等，沧州市航新仪表设备有限责任公司挠性加速度计商品特性的可重复性指标值;拟考输出;内嵌大数字温度感应器;宽负载电阻范畴;三边形高精密安裝法兰盘;取得成功用以全新军事装备惯导。

石英挠性加速度计表头由表芯与表壳装配而成，表芯悬空固定于壳体空腔，在表芯与表壳装接的过程中，理想的状态是加速度计的实际敏感轴向与理想敏感轴向重合，即表芯中心轴线与表壳中心轴线相互重合。然而由于在安装过程中，表芯轴线与表壳中心轴线之间不可避免地会存在安装误差角。安装误差角的存在，会使加速度计在摆组件坐标系中测量到的加速度值与被测量物体真实加速度之间存在差别，从而引起测量误差，对产品精度造成影响，因此，在装配中应尽量减小误差角，提高加速度计的测量精度。目前常用的表头装配工艺，将表芯悬吊放入壳体后，不对安装误差角进行检测控制，只在使用中发现精度不够时，才对加速度计进行检查，对不合格品进行修整甚至返厂维修。而随着对加速度计精度需求的不断提高，这种装配过程中缺乏对安装误差角进行检测、修正的状况，导致加速度计的成品合格率低，大量的返厂维修造成了人力物力的浪费和时间上的延误。目前亟需一种方法，在表头装配过程中检测并尽量减小误差角，确保检测调整合格后的表头装配完成后不需要再进行返工。

     挠性加速度计广泛用于航空航天导航系统、石油钻井测斜或地质勘探捷联系统。其主要由差动电容传感器、检测质量摆组件、电磁力矩器、电子放大器几个大的部分组成。当沿敏感轴有加速度作用时，检测质量的位置发生变化，位置检测器检测这一变化，然后将信号输入放大器，放大器驱动力发生器，使检测质量恢复到零位。加速度计的输出是流过力发生器与输入加速度成比例的电流。挠性加速度计开始在不同的领域进行应用。其中代表作QA-3000进行了多方面的改进，不仅性能更高，并且成本大幅度降低，使其更符合惯导系统的工作条件和环境。在应用层次上不仅可以在技术领域应用，还能在民用领域应用，比如工程机械、建筑、电梯等。

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

挠性加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高

加速度计由检测质量（也称敏感质量）、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。检测质量受支承的约束只能沿一条轴线移动，这个轴常称为输入轴或敏感轴。当仪表壳体随着运载体沿敏感轴方向作加速运动时，根据牛顿定律，具有一定惯性的检测质量力图保持其原来的运动状态不变。它与壳体之间将产生相对运动，使弹簧变形，于是检测质量在弹簧力的作用下随之加速运动。石英挠性加速度计主要有4个分类，分别是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，产品具有量程较大，稳定性能好，精度高，气密性能好的特点，主要应用在惯性导航系统，平台惯导系统，并在航空、航天、舰船、惯性测量和制导等行业。石英挠性加速度计在天舟一号发挥了巨大作用，石英挠性加速度计成功为飞船返回舱提供了准确的测量，为交会对接提供速度增量测量、为飞船姿态控制提供微重力测量、为飞船返回舱提供速度测量等。