廊坊市航新仪器仪表有限公司

石英挠性加速度计是一种力平衡摆式加速度计，具有稳定性好、精度高、结构简单、易小型化等特点，石英挠性加速度计主要由质量摆、电容信号传感器、电磁力矩器以及伺服电路等构成双轴石英加速度计。其中石英加速度计，电容信号传感器(简称电容传感器)的动极板由石英摆片表面通过真空镀膜沉积的金膜构成，静极板由上下轭铁研磨面构成。通过绝缘子引线，将电容信号引出到表芯外部，以便与伺服电路进行电气连接。对于电容传感器来说，绝缘子引线非常重要，其绝缘性能直接关系到传感器的精度，甚至会影响传感器正常可靠的工作。

方解石挠性加速度计系统软件中的闭环控制检验电源电路。开发设计了应用场景单载波解调的电容器检验电源电路和伺服电机光耦电路石英加速度计厂家,在功率放大电路前导入效正阶段,提升加速度计系统软件的动静态数据特性。试验得出结论,电容器检验电源电路线性好,理解能力可超过10-16F重量级,可检验到的限制误差电容器约为7 pF。方解石挠性加速度计按其运用分成：船舶，航天航空用，车截等，沧州市航新仪表设备有限责任公司挠性加速度计商品特性的可重复性指标值;拟考输出;内嵌大数字温度感应器;宽负载电阻范畴;三边形高精密安裝法兰盘;取得成功用以全新军事装备惯导。

石英加速度计主要由表头、激振电路和测频电路等组成。其中石英加速度计表头由阻尼板、金属摆、力敏感石英梁组成。具有量程大、精度高、抗过载性强、体积小、功耗低、价格廉等特点。石英加速度计主要分为石英挠性加速度计和石英振梁加速度计，都属于精度比较高加速度计。 国内的石英振梁加速度计一般都还处于研制阶段；石英挠性加速度计是比较成熟的产品，在惯性系统中有广泛的应用，精度比较高，石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，后输出电流信号正比于加速度信号。挠性加速度计产品广泛用于航空航天导航系统、石油钻井测斜或地质勘探捷联系统。

挠性加速度计由于采用了石英挠性支承，且采用无应力的化学蚀刻工艺加工，因此挠性支承有较小的弹性迟滞，检测摆与挠性支承由整篇熔融石英材料制造，差动电容传感器动极板用真空镀膜工艺镀覆在摆片上，差动电容传感器定极板由力矩器的端面构成，为使差动电容传感器具有较大的传递系数，定动极板间的间距很小，这一很小的间距构成摆的空气压膜阻尼，大大改善了加速度计承受冲击的能力，音圈式永磁力矩器是高分辨力的力矩器，且采用推挽配置，线性度很高，保证加速度计具有较小的非线性，挠性加速度计伺服电路采用混合集成工艺制造，体积小，结构上可与加速度计表头构成一体，使伺服电路与差动电容传感器之间的线路连接极短，因此，线路分布电容小，抗干扰能力强，工作可靠。

石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。磁钢采用导磁性能比较良好的AL-Ni-Co8永磁材料，用无心磨床加工。挠性的材料为温度性能很好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。将图1-1中所示的两磁钢轴向充磁后，在结构上强行磁极对顶固定，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次恢复到平衡位置。在平衡状态下，Foc=Fa，由Fa=ma，再根据恒定磁场内线圈流过电流而产生电磁力的公式Fa=Bil，平衡时ma=Bil，则式中，k=m/(Bl)为常数；B为恒定磁场的磁感应强度；l为力矩线圈的总长度。由上式可知，反馈电流i正比于被测加速度a的大小。

链接：https://www.zhihu.com/question/58274581/answer/156325545

来源：知乎

著作权归作者所有。商业转载请联系作者获得授权，非商业转载请注明出处。

根据石英振梁加速度计的产品特点和国外发展情况，依据精度及应用场景不同，发展形成了层次化、系列化的产品。 石英振梁加速度计应用领域及产品特点在应用领域，随着未来飞弹射程的不断增加以及对纯惯性导航的迫切需求，石英振梁加速度计的发展趋势是朝着、高可靠、战略级应用方向。2006年，美国启动了战略级石英振梁加速度计的研制工作。同时，法国也开始提升其导航级产品性能，以期达到战略级指标要求。石英振梁加速度计是一种基于振梁力频特性的新型数字化惯性传感器，具有精度高、体积小、功耗低、分辨率高、响应快、可靠性好、成本低、过载能力强等突出优点，在战术级系统上得到了广泛应用。同时，基于石英振梁天然的无摩擦结构及直接脉冲频率输出的特点，石英振梁加速度计将成为继PIGA后实现、高可靠、战略级应用有可能的方案，成为未来用加速度计研究的热点。