廊坊市航新仪器仪表有限公司

英挠性加速度计(简称加速度计)属于力反馈式加速度计，是一种敏感加速度的传感器石英加速度计批发，具有体积小、寿命长、性能稳定、测量精度高等特点石英加速度计，可以广泛应用于飞机、火箭、船舶、车辆的惯性导航系统和石油钻井、建筑、堤坝的倾角测量以及地动监测等。石英挠性加速度计是广泛应用于各类现代惯性系统中的一种测量加速度的仪器，现有加速度计的精度不高，或产品的合格率比较低，主要是大家对于加速度计的认识上不到位，多数只是进行纯粹的模仿，并且现在的石英挠性加速度计的偏值(K0)六个月内的准确度通常在5ug以内的合格率在5％以下，延长了生产周期。虽知道影响加速度计精度的关键因素在于摆片，但对于设计一款符合要求的摆片还有一定的困难，在国内虽有一些科研院所石英加速度计厂家，进行了相关的研究，但是效果并不理想，并且多数是停留在理论设想阶段，与实际生产脱节严重。

加速度计及制作该加速度计的方法，利用振动电极振动，产生对应的感应电动势，通过与振动电极相连的一个自组装单分子在待测加速度的作用下改变所述振动电极的振动频率，以使所述振动电极的振动频率与所述待测加速度相对应，从而使得所述感应电动势与所述待测加速度相对应，进而得到对应的加速度信息。石英挠性加速度计具有体积小、重量轻、精 度高、抗干扰能力强、测量范围宽、过载能力强的特点，是惯 性组合、imu 和捷联惯导中不可缺少的关键器件之一。石英挠性加速度计和电路板装在外壳内，石英挠性加速度计与电路板电连接；外壳外壁上设有一个三角形安装法兰，该石英挠性加速度计与外壳的底部之间设有垫片，且电路板接有引线，引线穿过外壳侧壁上的安装过孔后伸出；外壳内注满有硅凝胶，该外壳上端的开口由一块盖板封闭。

加速度计是一种用来测量物体运动状态的器件。传统的加速度计，以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量块向一个方向偏移，然后通过电极测量这个偏移的位移量(或产生偏移的惯性力)，进而换算得到加速度的值。按传感元件分类，加速度计包括压电式、电容式和隧道电流式等。其中，压阻式加速度计在质量块的支撑臂上嵌压敏电阻，通过该压敏电阻来感应质量块偏移对支撑臂产生的应力，进而获得加速度的信息；电容式加速度计设置有与质量块对应的极板，质量块的位移会造成该质量块和极板之间的电容变化，通过该电容变化可以换算得到加速度的值；隧道电流式加速度计通过在活动部件上添加一个隧穿针尖，使之与另一电极之间产生隧穿电流，而活动部件产生的位移会导致隧道电流的剧烈变化，通过该隧道电流变化可以获得加速度的信息。然而，这些加速度计均通过测量质量块的偏移值进行加速度的换算。由于在加速度的测量过程中，质量块的偏移值和质量块感应加速度的灵敏度小，造成这些加速度计测量精度低，灵敏度低。石英加速度计技术利用了单分子的非线性效应改变振动电极的振动频率，使振动电极的振动频率与待测加速度相对应，而振动频率的改变易于测量且灵敏度高，加速度计测量精度高，且灵敏度高。

廊坊市航新仪器仪表有限公司为了解决信号干扰的问题，同时滤掉三种形式的干扰，特研制了一款石英加速度计输出滤波器，型号为HJGM001，在电气组成上充分考虑了这三种干扰对输出的影响，并有针对的处理，主要由RFI 滤波、仪表放大器、三倍放大二阶低通滤波器和零位补偿电路等组成。此外，管芯选型充分考虑了宽温域要求，采用航晶成熟的耐高温厚膜工艺，在一个10.3×10.3×2.6mm的高温共烧陶瓷壳体中实现，截止频率、环路增益、零位均可调，具有高温可靠性高，应用灵活等特点。我公司石英加速度计产品在石油钻采，磁悬浮列车及其他地面设备也得到广泛且良好的应用。我厂竭诚为各界用户开发制造各种新型传感器，数字直读式伺服加速度测斜仪可以观测土石坝、堤防、岩土边坡、建筑物基坑、地下建筑工程等土体内部的水平数据。也可以根据不同场合的需要对仪表进行改装设计。我们将以至诚至信的服务态度和优良的产品品质回报广大信赖客户。真诚期待与各界朋友的合作

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

石英加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高