廊坊市航新仪器仪表有限公司

加速度计及制作该加速度计的方法，利用振动电极振动，产生对应的感应电动势，通过与振动电极相连的一个自组装单分子在待测加速度的作用下改变所述振动电极的振动频率，以使所述振动电极的振动频率与所述待测加速度相对应，从而使得所述感应电动势与所述待测加速度相对应石英加速度计，进而得到对应的加速度信息石英加速度计。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，后输出电流信号正比于加速度信号。

石英挠性摆式加速度计与现代化控制技术更好的融合在一起,设计了一种全数字型的石英挠性摆式加速度计的伺服回路,并通过建立石英挠性摆式加速度计数学模型,提出对其前端信号进行A/D高速差动解调、二元调宽脉冲控制、可逆计数数据采集等成套的数字方法,实现对石英挠性摆式加速度计的全数字化控制.为以后将各种控制算法融入到石英挠性摆式加速度计的控制中奠定了基础.并对该回路中的控制器进行了选择。石英挠性加速度计是用来感知载体所受加速度的惯性器件,它的应用领域正在逐步扩大石英加速度计厂家,配套系统对其性能指标的要求也越来越高。

石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和惯导系统中，并可用于的静态角度测量系统中。表头内部的检测摆质量对气膜的角振荡是影响石英挠性加速度计量程的主要的因素之一,应采取措施抑制其振荡,更有效的方法是增加挠性支承的约束力；另外,通过理论分析得到电流标度因数Ig和平均磁感应强度也是影响石英挠性加速度计量程的重要因素,由于电路能力不变时电流标度因数与量程成反比,因此,减小电流标度因数是提高其量程较理想的选择。 由此,提高石英挠性加速度计量程的关键是减小电流标度因数Ig和增加挠性支承的约束力。

方解石挠性加速度计是这种力均衡式控制器，它将键入瞬时速度转化成其挠性摆片的细微偏移，合用意见反馈力多方面均衡。因为选用了力反馈控制回路，使这类挠性加速度计具备，抗干扰性强的特性。不宜用以高频准确测量因为高频震动的瞬时速度数据信号都很细微，而高特性阻抗的小正电荷数据信号容易受干挠；当准确测量另一半的容积越大，其准确测量頻率越低，则数据信号的信噪比的难题更加突显。我企业的挠性加速度计高达几十种，运用于航空航天、航空公司、船只、军事、地质工程等众多行业，为各种系统软件的导行、制导、操纵、校正、检测等出示数据信号。

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

挠性加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高