廊坊市航新仪器仪表有限公司

挠性加速度计体积小、抗冲击、可安装于芯杆为1英寸的测斜仪上。主要用于石油钻井的随钻测斜系统和连续测斜系统中高温石英加速度计，抗振性能良好石英加速度计，其测角精度为角秒级。主要用于石油钻井的随钻测斜系统和连续测斜系统中高温石英加速度计，并可广范用于其他工作环境恶劣的系统中；精度较高，量程较大，抗振能力强。可用于对环境和精度都有较高要求的场合，挠性加速度计量程较大，适用于量程较大、加速度较大的测试系统中。挠性加速度计产品广泛用于航空航天导航系统、石油钻井测斜或地质勘探捷联系统。

石英挠性加速度计是构成捷联式惯性导航系统的核心敏感元件之一，其精度直接影响到导航系统的姿态、速度和定 位精度石英加速度计厂家。石英挠性加速度计的精度除受到制造工艺、内部结构等自身的性能影响外，还与所处的环境条件有关。其中环 境温度的影响尤为突出，当环境温度在-40～+60变化时其漂移误差将达到 210 -4 。一种常用的解决方案是给加速度计增加温度控制系统，使其工作在一个相对恒定的温度环境中，以抵抗外界温度变化带来的影响。而温控系 统的主要不足是温度稳定时间长、功耗大，因此不能满足那些要求快速启动、低功耗捷联式导航系统的应用需求。而加 速度计温度补偿是一种软件补偿的方法，该方法首先通过一定的测试方法建立加速度计输出随温度变化的模型，然后再 根据所测定的加速度计温度利用软件对加速度计输出进行修正，从而提高加速度计的测量精度。

加速度计是测量加速度的仪表。加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时，物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力，即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。石英挠性加速度计可应用于各种线加速度、振动加速度的测量，经转换后可应用于速度、距离、角速度、角位移等参数测量，用于航空、运载火箭、飞弹、飞船、飞机、舰船等加速度测量、惯性导航系统，岩土地基钻孔测斜及石油钻井、连续测斜系统。

石英挠性加速度计总成是一种的加速度计，石英挠性加速度计是在金属挠性加速度计以及液浮摆式加速度计基础上发展起来的，其特点是测量精度高、体积小、功耗小、稳定性强。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号。挠性加速度计具有的特点，在航空航天导航系统、石油钻井测斜或地质勘探捷联系统能够得到非常良好的应用。

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

挠性加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高

石英加速度计主要由表头、激振电路和测频电路等组成。其中表头由阻尼板、金属摆、力敏感石英梁组成。具有量程大、精度高、抗过载性强、体积小、功耗低、价格廉等特点。石英挠性加速度计是一种力平衡式传感器，它将输入加速度转换成其挠性摆片的微小位移，并用反馈力加以平衡。挠性加速度计通过检测质量敏感输入加速度，再经电路解调和调制，输出完全正比于输入加速度的信号。 目前公司所研制的石英挠性加速度计包括五大系列（SNJ-6000、SNJ-4200、SNJ-1000、SNJ-5100、SZH）多种型号，年产量达万只以上。挠性加速度计产品性能可满足各种精度等级需求。公司还具有齐备的配套电路、测试设备的研制能力，并已形成了石英挠性加速度计系统、加速度计组合、专/通用测试设备等产品。