廊坊市航新仪器仪表有限公司

英挠性加速度计(简称加速度计)属于力反馈式加速度计，是一种敏感加速度的传感器，具有体积小、寿命长、性能稳定、测量精度高等特点，可以广泛应用于飞机、火箭、船舶、车辆的惯性导航系统和石油钻井、建筑、堤坝的倾角测量以及地动监测等。石英挠性加速度计是广泛应用于各类现代惯性系统中的一种测量加速度的仪器，现有加速度计的精度不高，或产品的合格率比较低石英加速度计，主要是大家对于加速度计的认识上不到位石英加速度计，多数只是进行纯粹的模仿，并且现在的石英挠性加速度计的偏值(K0)六个月内的准确度通常在5ug以内的合格率在5％以下，延长了生产周期。虽知道影响加速度计精度的关键因素在于摆片，但对于设计一款符合要求的摆片还有一定的困难，在国内虽有一些科研院所，进行了相关的研究，但是效果并不理想，并且多数是停留在理论设想阶段，与实际生产脱节严重。

石英挠性加速度传感器是一种机械摆式加速度传感器石英加速度计厂家，具有精度高、灵敏度高、功耗低的特点，同时其结构简单、体积小、重量轻，便于使用和更换。随着应用领域的不断扩展，对石英挠性加速度传感器的性能提出了新的要求。在一些工作环境恶劣的应用场合中，例如石油钻井的随钻测斜系统、工业检测系统、水库大坝或建筑工程的测斜系统等，由于结构尺寸和重量的限制，一些惯性测量装置无法安装减振装置，因此要求在受到较大的冲击后，石英挠性加速度传感器应避免出现损毁现象。由此可见，随着应用领域的不断扩展，研制抗冲击的石英挠性加速度传感器势在必行。

廊坊市航新仪器仪表有限公司挠性加速度计采用硅凝胶注满外壳内腔，从而改善抗震、防水、防尘效果；2、采用引线设计不仅省去了转接电路板，简化了结构，降低了成本，而且可以避免损坏引线，有效克服传统插针结构的电路板连接线与插针焊接处易断裂的缺陷。3、三个安装孔沿外壳的周向均布，这样就能提高互换性，从而可以借用现有的测试工装。已研制的石英挠性加速度计测试系统具有较高的系统稳定性，保温罩控温精度达到±0.1℃，并配有高可靠性的自动数据采集及数据处理系统。同时还拥有精密零部件及精密六面体加工技术。

石英挠性加速度计是一种力平衡式传感器，它将输入加速度转换成其挠性摆片的微小位移，并用反馈力加以平衡。石英挠性加速度计在民用上是用于测量倾角  比如测斜仪的是惯导系统等。石英挠性加速度计是测量线加速度的传感器， 在惯性导航系统中具有重要的作用。然而石英挠性加速度计在使用时容易导致石英摆片挠性梁的断裂， 磁感应强度容易受时间、温度等环境因素的影响导致测量产生不稳定性现象提高石英挠性加速度计的测量范围具有重要意义。 首先， 随着近年来捷联惯性导航系统的迅速发展， 战术器械的机动性能不断提高，要求加速度计所敏感到的范围成倍增长。 如果线加速度的量值超过加速度计的测量范围， 那么从该加速度计输出量中可以发现噪声变大， 甚至对应的正弦波波形出现削顶。此时拟和计算的模型方程系数中的二次项将很大。 在这种情况下， 加速度计无法正常反映输入的运动加速度。 正由于此， 扩大石英挠性加速度计的测量范围是满足型号发展需要的重要的战略手段。 另外， 石英挠性加速度计的应用领域也逐步扩大， 很多应用领域对其测量范围要求也越来越宽。 要想在国内甚至是国际市场上占有一定的地位， 具有核心竞争力， 必须扩大石英挠性加速度计的测量范围。目前， 按照现有设计方案生产的加速度计， 量程方面的合格率比较低。

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

挠性加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高

角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。速度传感器是一种闭环测试系统，具有动态性 能好、动态范围大和线性度好等特点。其工作原理，传感器的振动系统由 "m-k”系统组成，与一般加速度计相同，但质量m上还接着一个电磁线圈，当基座上有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，该位移大小由位移传感器检测出来，经伺服放大器 放大后转换为电流输出，该电流流过电磁线圈，在磁铁的磁场中产生电磁恢复力，力图使质量块保持在仪表壳体中原来的平衡位置上，所以伺服加速度传感器在闭环状态下工作。石英挠性伺服加速度计广泛地应用于惯性导航和惯性制导系统中，在的振动测量和标定中也有应用。在航天、航空和航海方面,可用来进行惯性导肮。在计量部门，除作低频标准振动传感器外，还可进行精密的低频振动侧量。挠性加速度计在工程技术方面，尤其适用于大构件(房屋、桥梁和重型机械等)的低频微振侧t。同时它还能侧钻井倾斜、地倾等，所以在地展测量和预报方面也起了很大的作用。