廊坊市航新仪器仪表有限公司

石英挠性加速度计是一种力平衡摆式加速度计，具有稳定性好、精度高、结构简单、易小型化等特点，石英挠性加速度计主要由质量摆、电容信号传感器、电磁力矩器以及伺服电路等构成。其中，电容信号传感器(简称电容传感器)的动极板由石英摆片表面通过真空镀膜沉积的金膜构成，静极板由上下轭铁研磨面构成。通过绝缘子引线，将电容信号引出到表芯外部石英加速度计定制，以便与伺服电路进行电气连接石英加速度计。对于电容传感器来说，绝缘子引线非常重要，其绝缘性能直接关系到传感器的精度，甚至会影响传感器正常可靠的工作。

方解石挠性加速度计是依据惯性力基本原理，根据方解石挠性支撑点，再加的电子信息技术组成的高精密仪表盘。在力均衡情况下，加速度计的供给量与键入瞬时速度精准成占比，根据准确测量加速度计的供给量，能够精准测算出键入的瞬时速度物理量;具备高输出阻抗的电流量輸出方式石英加速度计厂家，客户能够依据状况挑选所必须的采样电阻而不至于危害系统软件可靠性。方解石挠性加速度计在民用型上是用以准确测量倾斜角例如测斜仪 大货车的是惯导系统等。方解石挠性加速度计用以质粒载体的微重力检测系统和高精惯导系统中，并可用以高精的静态数据角度测量系统软件中，我企业关键生产制造方解石挠性加速度计、加速度计、Mems加速度计、压电加速度计，企业有着小型加速度计等几种样式，加速度计驱动力调谐挠性溜溜球有关的检测和检测仪器。

石英加速度计的表芯温度变化和表芯力矩器力矩系数的温度系数决定着加速度计温度误差的大 小。如果从表芯温度和力矩系数的温度系数角度建立加速度计温度模型，其实现过程会非常复杂，需要解决表芯温度测 量等一列复杂问题，从工程应用角度考虑其复杂性和成本都是不可接受的。如果直接对加速度计测量输出值与环境温度 的关系进行分析，可以发现二者有很强的相关性，该关系在加速度计数学模型中表现为模型的各参数与环境温度的相关 性关系。

石英振梁是振梁加速度计的核心器件，作为力频转换器件，其早期主要用于测力传感器。常用的结构有单梁和双梁两种，如图7所示。振梁设计涉及晶片切型、振动频率、振动模态、激励电极、寄生振动抑制、工艺可行性等方面。晶体刻蚀可采用干法、湿法或干湿法结合等加工方式，石英晶体的各向异性会使振梁在刻蚀过程中出现侧棱，侧棱会对梁的振动稳定性及仪表精度带来一定影响。通过优化刻蚀工艺参数，能够减小侧棱结构，保证梁结构的微纳加工精度。 挠性支撑的作用是将输入加速度的变化转换成振梁受力的变化，进而产生输出频率的变化，一般采用强度极限大、疲劳强度高、无磁、加工工艺性好的弹性合金、石英等材料。挠性支撑的设计结合工艺加工可采用平桥式或圆弧式，作为石英振梁加速度计的关键零件，挠性接头加工的厚度、刚度及对称性直接影响着仪表的精度水平。 挠性支撑两种结构形式3.3 驱动电路 驱动电路是和石英振梁相匹配，以实现振梁在谐振频率点处的振动。驱动电路频率跟随振梁固有频率，且随加速度改变而变化。振梁的输出信号被缓冲以便输出信号与数字元件相匹配，从而能够用数字计数器检测并进行系统级的数据处理。 3.4 装配及封装 精密装配是石英振梁加速度计实现及可靠性的保证，涉及对准、低应力联接、应力隔离释放等技术。仪表应实现气密封裝，内腔气压的选取一方面要保证仪表具有一定的压膜阻尼，另一方面要考虑提高振梁振动Q值、降低气体阻尼和振梁等效电阻。

挠性加速度计特点:

1． 小型混合伺服电路

2． 用无晶伺向石英制成完全弹性的测震悬置

3. 无轴尖和宝石眼，故无轴承摩擦

4. 无静摩擦，因而无机械阀

5. 在恶劣环境下，可长期工作，性能不变

6． 偏值小、偏值稳定性高

7． 稳定的输出电压标度因数

8． 有自检测能力

9． 抗冲击强度高

挠性加速度计 钢采用导带磁能较为优良的AL-Ni-Co8永磁材料，用外圆磨床生产加工。挠性的原材料为溫度特性好的石英玻璃，外观设计采用超声波生产加工而成，挠性元器件的生产加工一般采用有机化学浸蚀方式 ；挠性加速度计 其关键由差动保护电容传感器、检测品质摆部件、电磁感应扭矩器、电子器件放大器好多个大的一部分构成。当沿比较敏感轴有瞬时速度功效时，检测品质的部位产生变化，部位检测器检测这一转变，随后将数据信号键入放大器，放大器推动力超声波发生器，使检测品质修复到零位。加速度计的輸出是穿过力超声波发生器与键入瞬时速度成占比的电流量。 方解石挠性加速度计抗振性能优良,其测角精密度为角秒级。适用于油田钻井队的随钻测斜系统软件和持续测斜系统软件中,并可普遍用以其他工作中艰苦环境的系统软件中。